MEMS Module

Mikro ölçekte bir elektronik mekanik sistem tasarımı ve modellemesi özellikli bir mühendislik disiplinidir. Alçak boyut ölçeklerinde rezonatörlerin, jiroskopların, ivme ölçerlerin ve aktüatörlerin davranışları birçok fizik prensibi ile etkileşim halinde incelenmelidir. MEMS aygıtları ve sensörleri ileri seviye duyarlılık beklentileri ile çoklu-fizik ortamlarında davranışlarının bilinmesini gerektirir. MEMS modülü kullanıcı arayüzü sayesinde elektromanyetik-yapı, ısıl-yapı ve hatta akışkan-yapı etkileşimleri hazır tanımlar ile kolaylıkla yapılır. Sönümleme davranışları ince film sönümleme, anizotropik kayıp faktörleri (piezo ve katı maddeler için), anchor sönümleme dahil incelenebilmektedir. Elastik vibrasyonlar ve dalgalar mükemmel eşlenik katmanlar sayesinde dışa giden elastik enerjinin absorpsiyonu etkin şekilde ele alınabilmektedir.
Tahmin edilebilen herhangi bir konfigürasyon için kompozit piezo-elastik-dielektrik malzemeler, sınıfının en iyi piezoelektrik ve piezorezistif araçlar sayerinde bir araya getirilebilir. MEMS modulü, denge durumu, zamana bağımlı, tam eşlenik eigen-frekans, parametrik, kuasi-statik ve frekans tepki analizlerini içerir. Kapasitans, empedans ve admitans ile SPICE netlistlere dış elektrik devresi bağlantısı parametre grubları ile kolaylaştırılmıştır. COMSOL Multiphysics’in çekirdek özellikleri üzerine kurulu olan MEMS modulü sayesinde mikro ölçekteki her türlü mekanik problemi ele alınabilir.